勻膠顯影機是線性模塊裝備的全自動設備

　　勻膠顯影機是線性模塊裝備的全自動設備，恣意兩個相鄰模塊之間都需求一個晶片的轉移機構，所以晶片的模塊間精確快速傳送就顯得格外重要。為了完成不同模塊之間晶片的平穩轉移和取放，

　　一個簡易機械手的開發顯得尤為重要。該機械手應該能完成左右旋轉和上下升降兩個功能，結構簡略而牢靠，同時造價較低，并能完成*的國產化。

　　新式內容本就實用于新式的目的在于提供一種勻膠顯影機用機械手設備，該機械手結構簡略牢靠而又合理，操作修理十分便利，且造價較低。

　　實用于新式的技能計劃是膠顯影機用機械手設備，包含主軸、套筒、大齒輪I、大齒輪II、底板、機械手、小齒輪I、支座、小齒輪II、升降電機、旋轉電機；主軸外側設有套筒，小齒輪II由旋轉電機驅動，小齒輪II與大齒輪I經過皮帶傳動，大齒輪I經過銜接部件與套筒固定，套筒上端與底板相連，主軸上部穿過底板，大齒輪II與主軸上部銜接，支座置于底板上，大齒輪II與主軸上部銜接，支座置于底板上，小齒輪I置于支座上，與機械手經過銜接部件銜接的小齒輪I與大齒輪II之間經過皮帶傳動。

　　所述皮帶上下能夠設有張緊輪；所述支座內開有與真空管、機械手相通的通道，主軸為中空軸，需求傳送的晶片置于機械手上外表，經過真空吸附設備、主軸、真空管、支座，從機械手底部將晶片吸附于機械手上外表。

　　所述支座為“⊥”形，其內通道為“」”形，小齒輪I與“⊥”形支座的豎向經過軸承合作。

　　實用于新式絲杠與升降電機銜接，絲杠穿過提高板，與提高板螺紋傳動合作；同時，主軸、導向桿穿過提高板，形成對提高板的三點定位。

　　實用于新式位置檢測開關安裝在提高板上，與坐落提高板右側的極限位檢測片合作完成機械手上下位的檢測。

　　實用于新式旋轉電機和升降電機能夠為同步電機。

　　實用于新式的長處及有益作用是

　　1  實用于新式晶片在機械手上放置的中心點總是在一條直線上運動，且移動距離可調。

　　2  實用于新式機械手配有真空吸附，輔助晶片定位，保證晶片在移動中不發生偏移。

　　3  實用于新式機械手的上下移動和左右旋轉均由步進馬達完成，靠脈沖個數的給定來完成精確的重復定位精度。

　　4  實用于新式能夠具有杰出的人機交互界面，對機械手進行監控。

　　5  實用于新式結構簡略牢靠而又合理，操作修理十分便利，且造價較低。