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    全封閉式桌面顯影機

    簡要描述:全封閉式桌面顯影機 主要用于半導體制造中晶片的顯影工藝,性價比高,穩(wěn)定性好,重復性好,對顯影作業(yè)有非常理想的效果。設備配有一路顯影和一路水、一路氣吹功能,并且噴嘴位置可程控移動,實現(xiàn)自動顯影和清洗作業(yè)。

    • 所在城市:無錫市
    • 廠商性質(zhì):生產(chǎn)廠家
    • 更新日期:2025-06-19
    • 訪  問  量:6230

    詳細介紹

    品牌LEBO/雷博產(chǎn)地類別國產(chǎn)
    應用領域醫(yī)療衛(wèi)生,化工,能源,電子/電池產(chǎn)品尺寸550mm (W) x600mm (D) x405mm (H)
      產(chǎn)品優(yōu)勢
     
      ·全封閉式顯影,避免霧氣擴散到外部,污染環(huán)境。
     
      ·外殼噴塑,耐腐蝕,易清洗。
     
      ·內(nèi)腔不銹鋼材質(zhì),鏡面拋光處理,光滑,耐腐蝕,易清洗。
     
      ·內(nèi)置真空過濾器,防止液體吸入真空泵。
     
      ·真空壓力可調(diào),壓力值實時顯示。
     
      ·液體流量可調(diào),回吸可調(diào)。
     
      產(chǎn)品參數(shù)
     
      支持wafer尺寸:碎片至200mm(8”圓晶)
     
      ·轉(zhuǎn)速分辨率:±1 RPM
     
      ·旋涂速度:20-3000rpm(空載)
     
      ·旋涂加速度:20-10,000rpm/sec(空載)
     
      ·工藝時間設定: 0-3,000sec/step,時間設置精度: 0.1sec
     
      ·該機型適用于標準3路顯影機(1路顯影液,1路純水,1路氮氣)
     
      ·單步工藝及多步工藝可選,內(nèi)置100組可編輯程序
     
      ·可根據(jù)客戶需求定制四管路顯影機或更大基片的顯影機。
     
     

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    • 郵箱:lu.yan@leboscience.cn
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