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    實(shí)驗(yàn)室光刻機(jī)

    簡要描述:實(shí)驗(yàn)室光刻機(jī)參數(shù):1.曝光面積:160mm*160mm。2.曝光分辨率:接觸式曝光0.8um-1um。3.對準(zhǔn)精度:±1-1.5um。4.光源強(qiáng)度:35mW/cm2。5.UV光源:進(jìn)口LED模塊。

    • 所在城市:無錫市
    • 廠商性質(zhì):生產(chǎn)廠家
    • 更新日期:2025-03-07
    • 訪  問  量:1129

    詳細(xì)介紹

      實(shí)驗(yàn)室光刻機(jī)產(chǎn)品參數(shù) :
     
      1.曝光面積:160mm*160mm
     
      2.曝光分辨率:接觸式曝光0.8um-1um
     
      3.對準(zhǔn)精度:±1-1.5um
     
      4.光源強(qiáng)度:35mW/cm2
     
      5.UV光源:進(jìn)口LED模塊
     
      6.曝光中心波長:365nm
     
      7.光源壽命:1萬小時(shí),光源平行性:≤2°
     
      8.曝光分辨率:接觸式曝光0.8um-1um
     
      9.照度不均勻性:≤3%
     
      10.曝光設(shè)定:定時(shí)
     
      11.可執(zhí)行曝光模式:真空接觸、硬接觸、壓力接觸、接近式
     
      12.間隙設(shè)定方式:數(shù)字設(shè)定曝光間隙0-1200um
     
      13.可調(diào),可自動分離和消除間隙
     
      14.樣片、掩模版相對移動范圍:X:±5mm,Y:±5mm,0=±6°
     
      15.掩模版找平方式:球氣浮自動找平
     
      16.可支持掩模版尺寸:3"x3"、4"x4"、5"x5"、7"x7"各一件
     
      17.標(biāo)配承片臺:2英寸、3英寸、4英寸、6英寸
     
      18.標(biāo)準(zhǔn)配件可兼容樣片厚度:0.1-5mm,其他尺寸可定制
     
      19.對準(zhǔn)系統(tǒng):光學(xué)+CCD,顯微倍數(shù):放大倍率:150倍-720倍可調(diào)
     
      20.雙物鏡可調(diào)距離范圍:30mm-120mm

     

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