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    臺式光刻機

    簡要描述:臺式光刻機參數:1.最大曝光面積:160mm*160mm。⒉.曝光分辨率:1um(膠厚≤0.5um的正膠)。3.對準精度:±1um(標準晶圓拋光片)。4.光源強度:35mW/cm2。5.曝光波長:LED光源(進口燈珠,壽命>1萬小時)

    • 所在城市:無錫市
    • 廠商性質:生產廠家
    • 更新日期:2025-01-08
    • 訪  問  量:556

    詳細介紹

      臺式光刻機參數:
     
      1.最大曝光面積:160mm*160mm
     
      ⒉.曝光分辨率:1u m(膠厚≤0.5um的正膠)
     
      3.對準精度:± 1um(標準晶圓拋光片)
     
      4.光源強度:35mW/cm2
     
      5.曝光波長:LED光源(進口燈珠,壽命>1萬小時)
     
      6.曝光方式:定時(倒計時方式)
     
      7.掩模樣片相對運動范圍:X:優于±5mm;
     
      8.Y:優于±5mm;0:優于±6°
     
      9.掩模尺寸:7英寸,樣片規格:6英寸(晶圓片)
     
      10.數字設定對準間隙和曝光間隙
     
      11.掩模樣片分離間隙:6 =O-500um連續可調
     
      12.對準方式:自動對準,可根據客戶需求,增加對準標記的類型,累計不超過4組
     
      13.自動輸片:機械手自動輸片(專用樣片機械手臂及片叉),含預對準定位功能
     
      14.顯微掃描范圍:Y:± 40mm(數字設定)
     
      15.具備正壓氣浮曝光、硬接觸曝光、壓力接觸曝光,以及接近式曝光四種功能CCD+遠心鏡頭+顯示器對準,光學合像
     
      16.調平接觸壓力通過傳感器保證重復
     
      17.雙物鏡可調距離范圍:30mm-130mm
     
     

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